製品属性(仕様)

業界半導体対象
ワーク		半導体ウエハ、ガラス基板、精密ディスク
素材アルミ

製品画像(様子)

特徴

こちらは、自動機・省人化装置マイスター.comを運営するタカキ製作所株式会社にて製作した半導体製造プロセスで使用するウエハ用アルミキャリアです。

お客様から現物のみをお預かりし、各パーツの測定から三次元的な再設計、図面化、部品加工、最終組立に至るまで、当社にて一貫対応したリバースエンジニアリング事例となります。

本製品は 半導体ウエハやガラス基板、精密ディスク等の製造工程において、洗浄、熱処理、搬送、保管といった各プロセスで複数枚のワークを非接触で高精度に整列保持し、同時に安定搬送するための専用治具です。高温環境や薬液使用などの厳しい条件下でも、形状安定性と耐久性を両立するよう材質選定および構造設計を行っています。